미국 어플라이드 머티어리얼즈가  인라이트 광학 웨이퍼검사 시스템 신제품을 발표 했습니다. 약 5년간의 제품 개발 준비과정을 거쳐 출시한 이제품은 

이미지 당 더욱 많은 데이터를 수집하여 웨이퍼의 결함을 포착하는데 투입되는 비용을 3배 더 줄일 수 있도록 설계되었다고 합니다. 

반도체 제조과정이 미세화되면서 결함을 포착하는데 드는 시간과 비용을 크게 감소시키며 신규장비 개발 이전의 2015년 개발 제품과 비교시 공정단계에서는

48% 비용 측면에서는 56% 줄일 수 있다고 밝혔습니다. 

이러한 검사장비는 현재 주요한 파운드리 고객사의 생산라인에 이미 공급되고 있다고 합니다. 

http://www.ddaily.co.kr/news/article/?no=212662